電子行業(yè)在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣不僅難聞，還含有很多有害氣體成分，電子行業(yè)廢氣一般分為酸性排氣、堿性排氣、有機廢氣、和一般排氣等。如果不經(jīng)過廢氣處理達標排放，就會對工廠工人以及工廠附近的居民的身體健康造成危害，對大氣環(huán)境造成污染。現(xiàn)在國家對電子行業(yè)廢氣排放越來越重視，工廠企業(yè)只要對生產(chǎn)產(chǎn)生的廢氣進行廢氣處理，處理后的廢氣排放達到國家的排放標準，才可進行正常生產(chǎn)運行。

電子行業(yè)產(chǎn)生的廢氣具有排風量大、濃度低的特點。針對電子行業(yè)的廢氣排放特點，采用相應的廢氣末端治理技術，主要還是吸附法或焚燒法。

吸附法,廢氣處理設備是活性炭吸附脫附+催化燃燒CO設備，活性炭屬非極性吸附劑，對非極性化合物有較強的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs；

燃燒法，廢氣處理設備是沸石轉(zhuǎn)輪+蓄熱式焚燒爐RTO設備，由廢氣旋轉(zhuǎn)輪的上游側(cè)進入濃縮轉(zhuǎn)輪的吸附區(qū)，使VOCs得到濃縮，在經(jīng)脫附燃燒處理。